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LabMS 5000 电感耦合等离子体串联质谱仪用于半导体高纯试剂、高纯材料痕量杂质分析的优势是什么？
LabMS 5000 电感耦合等离子体串联质谱仪非常适合半导体高纯化学品、晶圆清洗试剂中超痕量金属杂质检测。
1. 超低检出限：LabMS 5000可达ppt甚至亚ppt级别，满足半导体高纯材料痕量金属管控
2. 强干扰消除：MS/MS模式消除高纯酸基体带来的多原子离子干扰，降低假阳性
3. 洁净兼容：可配套洁净室进样套件，降低外部污染引入
4. 可测元素：半导体关注Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Fe、Cu等金属杂质全覆盖
5. 方案配套：搭配浩博体育app微波消解、超净自动进样器，构建半导体全套无机分析方案
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